石英质料:0716-8304668/0716-8333088
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质料简介
Introduction
中心层为 FSTQZ?W 高纯白色不透明石英质料,,,,,,,,保存了其精彩的隔热性能;;;;;;两侧为半导体级透明石英质料,,,,,,,,高温区使用规避了乳白质料颗粒脱落的危害,,,,,,,,稳固性更高;;;;;;复合层熔融团结,,,,,,,,无空穴,,,,,,,,具有精彩的冷热加工性能,,,,,,,,作为隔热和保温质料应用于晶圆制程中。。。。。。。。
透明层可凭证客户需求定制:FLH321、FLH321H、FLH621、FLH621H、F-HUV等。。。。。。。。
The middle layer is FSTQZ?W high purity opaque quartz material, which remains its excellent thermal insulation property.Both sides are semiconductor grade transparent quartz material, which can avoid the risk of opaque material particle falling off at high temperature usage and provide higher stability.The composite layers are fused together and void free, with excellent cold and hot processing properties. It is used as thermal insulation material in wafer fabrication process. The transparent layer can be customized according to customer requirements:FLH321, FLH321H, FLH621, FLH621H, F-HUV, etc.
化学纯度
Chemical Impurity
不透明层(FSTQZ?W) 杂质元素平均值 (ppm)
Al
12.29
Ca
1.05
Mg
0.03
Cu
—
Fe
0.53
Ni
0.01
Mn
1.42
Li
—
K
0.98
Na
0.30
Zr
0.47
Ti
1.62
B
0.00
Co
—
总和
18.72
透明层(FLH621) 杂质元素平均值 (ppm)
Al
14.2
Ca
0.60
Mg
0.05
Cu
0.01
Fe
0.23
Ni
0.05
Mn
0.05
Li
0.44
K
0.25
Na
0.12
Zr
—
Ti
1.3
B
0.08
Co
—
总和
17.38
光学性能
Optical properties
FCMQZ保存了FSTQZ?W 较低的透过率和较高的反射率。。。。。。。。
FCMQZ material retains the low transmittance and high reflectivity properties of FSTQZ?W material.
FCMQZ 透过率
FCMQZ 反射率
显微结构比照
Microstructure comparison

规格尺寸
Specifications
类型
长度 / 直径
宽度
高度 / 厚度
砣芯
460
——
30
正反板
500
500
30
长方条
800
250
60
圆环
580
365
130
FCMQZ 圆片
400
——
0.75+2+0.75、1+4+1、0.75+2+3.25
7790必发集团复合石英质料 FCMQZ
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